"Buyee" 提供一站式最全面最专业现地Yahoo! JAPAN拍卖代bid代拍代购服务
Buyee

プラズマエッジャー CPE-100

株式会社魁半導体
プラズマエッジャー CPE-100
价格
5,041,300日元
(47,388.22美元)
定价
5,041,300日元
(47,388.22美元)
商品的状态
新货
请选择商品规格
希望购买数量

商品说明

[ 翻译 ] ■コンパクト
■簡単な操作性
■タッチパネル操作(オート、マニュアル)
■高精度で無機物のエッチングが可能
SiO2やSiのエッチングなど
半導体集積回路などの微細回路を作製
装置名称 プラズマエッチャー
型式 CPE-200
外形寸法 510mm(W)×760mm(D)×1090mm(H)
放電部寸法 直径200mm(円形)
重量
電源出力 最大300W
出力調整 あり
ガス系統 1系統(2系統はオプション)
ガス制御方法 マスフローコントローラー
圧力調整 バルブ
電源 電源 AC100V,15A(50Hz/60Hz)