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プラズマエッジャー CPE-100

株式会社魁半導体
プラズマエッジャー CPE-100
Price
5,041,300 yen
(US$47,388.22)
Catalog price
5,041,300 yen
(US$47,388.22)
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Item Description

[ Translate ] ■コンパクト
■簡単な操作性
■タッチパネル操作(オート、マニュアル)
■高精度で無機物のエッチングが可能
SiO2やSiのエッチングなど
半導体集積回路などの微細回路を作製
装置名称 プラズマエッチャー
型式 CPE-200
外形寸法 510mm(W)×760mm(D)×1090mm(H)
放電部寸法 直径200mm(円形)
重量
電源出力 最大300W
出力調整 あり
ガス系統 1系統(2系統はオプション)
ガス制御方法 マスフローコントローラー
圧力調整 バルブ
電源 電源 AC100V,15A(50Hz/60Hz)